特 長

●溶接レスのスーパーPFAロトモールド成形容器を使用。
●タンク下部にレヴィトロニクス®社製の
 ベアリングレスポンプを一体装着することで、クリーンで安定
 したミキシングが可能となりました。
 薬液やスラリー液の混合供給に最適です。

ミキシングタンクの7大特長


①薬液供給と撹拌の IN - LINE 化を実現

スーパーPFAタンクの特長である内面平滑性に
 LEVITRONIX 社製のPTMポンプを一体化させることで
 スムーズな撹拌を実現しました。

②省スペース化
 ポンプを一体化しフットスペースをよりコンパクトに
 することで、装置の省スペース化を実現します。

③メンテナンス性
 撹拌機などのオーバーホールなどのメンテナンスが
 必要ありません。

④デバイスの歩留まりを向上
 CMPプロセスにおいてベローズポンプと比べ、
 スクラッチの発生を1/200〜1/1000に
 低減デバイスの歩留まりを向上させます。

⑤フィルタ寿命が最大15倍
 ゴミやゲル状物質の発生量を削減することで目詰まりを解消。
 フィルタの寿命を最大15倍に延ばします。

⑥密閉性
 撹拌機を挿入する必要がないので、密閉性を確保できます。

⑦コンタミレス
 リニアモーターカー式に浮遊するインペラが非接触で回転し、
 液送されるので、コンタミが出ません。

※薬液供給装置やスラリー供給装置にて使用される
 Mixing Tank は、高い耐圧性能は必要ではないため、
 外装は簡易タイプを採用し、秤量に多用されるロードセルを
 使用可能にするため、タンク側面にLUGを設置しました。

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詳 細

■ポンプ供給能力
ポンプ供給能力1.pdfポンプ供給能力2.pdfポンプ供給能力3.pdf

■外径外観寸法図
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